早在1738年，瑞士人丹尼尔第1伯努利以伯努利方程为基础利用差压法测量水流量。富士记录仪后来意大利人G.B.文丘里研究用文丘里管测量流量，并于1791年发表了研究结果。
1886年，美国人赫谢尔应用文丘里管制成了测量水流量的的实用测量装置。20世纪初期到中期，原有的测量原理逐渐走向成熟，人们不再将思路局限在原有的测量方法上，而是开始了新的探索。
到了30年代，又出现了探讨用声波测量液体和气体的流速的方法声波测量流量的方法，但到第二次世界大战为止未获得很大进展，直到1955才有了应用声循环法的马克森流量计的问世，用于测量航空燃料的流量。
20世纪的60年代以后，测量仪表开始向精密化、小型化等方向发展。随着集成电路技术的迅速发展，富士记录仪具有锁相环路技术的超声（波）流量计也得到了普遍应用，微型计算机的广泛应用，进一步提高了流量测量的能力，如激光多普勒流速计应用微型计算机后，可处理较为复杂的信号。
